ECTS : 3
Modalités d’organisation et de suivi :
Coordinateur : Checoury Xavier
Equipe pédagogique : Xavier Checoury, Anne-Sophie Grimault-Jacquin, Nicolas Zerounian.
Déroulement et organisation pratique :
L’évaluation se fera par contrôle continu lors des TP.
Objectifs pédagogiques visés :
Contenu : Cette unité d’enseignement (UE) vise à l’enseignement des principales techniques de réalisation en salle blanche de micro-dispositifs en rapport avec les enseignements de la finalité CAT. Cette UE, essentiellement sous forme de TP, se propose ainsi de concevoir, réaliser et caractériser un photo-mélangeur qui permettra de générer une onde hyperfréquence ou terahertz à partir de deux lasers faiblement désaccordés. Les aspects du dimensionnement de tels photo-mélangeurs sera abordé lors de TP. Les principales techniques de réalisation en salle blanche seront abordées sous forme de cours avant d’être mises en pratique lors de la réalisation des photo-mélangeurs précédemment dimensionnés. Enfin, les dispositifs réalisés seront illuminés par des lasers fibrés et leurs réponses mesurées au moyen de dispositifs de mesures hyperfréquence sous pointes.
Cette U.E. illustre les domaines enseignés dans la finalité comme les hyperfréquences et les terahertz, l’opto-électronique et la physique du solide.
Cette U.E. illustre les domaines enseignés dans la finalité comme les hyperfréquences et les terahertz, l’opto-électronique et la physique du solide.
Contenu :
– Environnement salle blanche et procédés de fabrication, techniques de dépôt, élaboration de couches minces, lithographie optique et électronique, techniques de gravure,
– Simulation et dimensionnement d’un photo-mélangeur,
– Fabrication en salle blanche d’un photo-mélangeur : dessin des masques, lithographie optique, dépôt des électrodes métalliques,
– Caractérisation des photo-mélangeurs fabriqués : paramètres S, courbes I/V, gain de photo-conduction, gain hyperfréquence, bande passante.
– Environnement salle blanche et procédés de fabrication, techniques de dépôt, élaboration de couches minces, lithographie optique et électronique, techniques de gravure,
– Simulation et dimensionnement d’un photo-mélangeur,
– Fabrication en salle blanche d’un photo-mélangeur : dessin des masques, lithographie optique, dépôt des électrodes métalliques,
– Caractérisation des photo-mélangeurs fabriqués : paramètres S, courbes I/V, gain de photo-conduction, gain hyperfréquence, bande passante.
Prérequis : Connaissances générales en électromagnétisme, en hyperfréquences, optique et en physique des semi-conducteurs.
Bibliographie :
Optoelectronics, Emmanuel Rosencher and Borge Vinter, Cambridge University Press,
A. Yariv, optical electronics in modern communication.
Période(s) et lieu(x) d’enseignement :
Période(s) : Octobre – Novembre – Décembre – Janvier.
Lieu(x) : PALAISEAU