{"id":183,"date":"2023-01-25T12:15:48","date_gmt":"2023-01-25T11:15:48","guid":{"rendered":"http:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/?page_id=183"},"modified":"2024-12-21T02:18:46","modified_gmt":"2024-12-21T01:18:46","slug":"microscopie-electronique-a-balayage-esem","status":"publish","type":"page","link":"https:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/?page_id=183","title":{"rendered":"Microscopie Electronique \u00e0 Balayage ESEM"},"content":{"rendered":"\n<hr class=\"wp-block-separator has-alpha-channel-opacity\"\/>\n\n\n\n<p class=\"justify-text\">Le microscope \u00e9lectronique \u00e0 balayage environnemental QUATTRO S (FEG-ESEM) est \u00e9quip\u00e9 d&rsquo;un couplage Dual EDS (60 mm2) \/ \u00b5-XRF.<\/p>\n\n\n\n<figure class=\"wp-block-image size-large is-resized\"><a href=\"http:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/wp-content\/uploads\/2024\/12\/Thermo_Scientific_Quattro.jpg\"><img decoding=\"async\" loading=\"lazy\" src=\"http:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/wp-content\/uploads\/2024\/12\/Thermo_Scientific_Quattro-1024x1024.jpg\" alt=\"\" class=\"wp-image-310\" width=\"768\" height=\"768\" srcset=\"https:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/wp-content\/uploads\/2024\/12\/Thermo_Scientific_Quattro-1024x1024.jpg 1024w, https:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/wp-content\/uploads\/2024\/12\/Thermo_Scientific_Quattro-300x300.jpg 300w, https:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/wp-content\/uploads\/2024\/12\/Thermo_Scientific_Quattro-150x150.jpg 150w, https:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/wp-content\/uploads\/2024\/12\/Thermo_Scientific_Quattro-768x768.jpg 768w, https:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/wp-content\/uploads\/2024\/12\/Thermo_Scientific_Quattro-1536x1536.jpg 1536w, https:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/wp-content\/uploads\/2024\/12\/Thermo_Scientific_Quattro-100x100.jpg 100w, https:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/wp-content\/uploads\/2024\/12\/Thermo_Scientific_Quattro.jpg 1800w\" sizes=\"(max-width: 767px) 89vw, (max-width: 1000px) 54vw, (max-width: 1071px) 543px, 580px\" \/><\/a><\/figure>\n\n\n\n<hr class=\"wp-block-separator has-css-opacity\"\/>\n\n\n\n<p><strong>Sp\u00e9cificit\u00e9s :<\/strong><\/p>\n\n\n\n<ul>\n<li>Modes : Haut Vide (&lt;6*10-4 Pa), Vide D\u00e9grad\u00e9 (10 Pa \u00e0 130 Pa)&nbsp;, ESEM (10Pa \u00e0 4000 Pa).<\/li>\n\n\n\n<li>Platine motoris\u00e9e 5 axes<\/li>\n\n\n\n<li>NavCam : 6 megapixels avec zoom num\u00e9rique, colocalis\u00e9e avec la platine.<\/li>\n\n\n\n<li>Canon \u00e0 \u00e9mission de champ : tensions 200V-30 keV, courant jusqu&rsquo;\u00e0 200 nA.<\/li>\n\n\n\n<li>R\u00e9solution : 1,0 nm (haut vide)  \u00e0 1,3 nm (ESEM) en SE \u00e0 30 keV ; 3,0 nm \u00e0 1 keV.<\/li>\n\n\n\n<li>Grandissements : x6 &#8211; x1.000.000<\/li>\n\n\n\n<li>D\u00e9tecteur d&rsquo;\u00e9lectrons secondaires haut vide Everhardt-Thornley conventionnel<\/li>\n\n\n\n<li>D\u00e9tecteur d&rsquo;\u00e9lectrons secondaires vide d\u00e9grad\u00e9 gazeux grand champ.<\/li>\n\n\n\n<li>D\u00e9tecteur d&rsquo;\u00e9lectrons r\u00e9tro-diffus\u00e9s \u00e0 diodes 4 segments<\/li>\n\n\n\n<li>Cam\u00e9ra IR<\/li>\n\n\n\n<li>2x d\u00e9tecteur EDS QUANTAX 200 (60 mm2) en sym\u00e9trie (Bruker)<\/li>\n\n\n\n<li>Canon X  XTrace 400i (Bruker) avec capillaire &lt;35 \u00b5m pour la \u00b5-XRF<\/li>\n\n\n\n<li>Platine pi\u00e9zo\u00e9lectrique RapidStage pour la cartographie en \u00b5-XRF<\/li>\n\n\n\n<li>Licenses MAPS (microscopie corr\u00e9lative), TOPOMAPS (reconstructions 3D), ESPRIT2 (acquisition et traitement EDS et XRF)<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<hr class=\"wp-block-separator has-css-opacity\"\/>\n\n\n\n<p class=\"justify-text\"><strong>Pression variable&nbsp;:<\/strong><\/p>\n\n\n\n<p>En mode vide d\u00e9grad\u00e9 ou ESEM, la pression de gaz dans la chambre permet l&rsquo;observation des \u00e9chantillons sans aucune pr\u00e9paration qu\u2019ils soient isolants, hydrat\u00e9s ou huileux, au prix d&rsquo;un l\u00e9ger compromis sur la r\u00e9solution spatiale en SE, BSE et EDS (il n&rsquo;y a pas de cons\u00e9quence pour la \u00b5-XRF). <\/p>\n\n\n\n<p>Le mode haut vide permet d&rsquo;atteindre les r\u00e9solutions nominales de l&rsquo;instrument, mais n\u00e9cessite le d\u00e9p\u00f4t d\u2019une couche conductrice \u00e0 la surface des \u00e9chantillons isolants. A cette fin, le laboratoire dispose de m\u00e9talliseurs AU\/Pd et C.<\/p>\n\n\n\n<hr class=\"wp-block-separator has-css-opacity\"\/>\n\n\n\n<p><strong>Imagerie \u00e9lectronique :<\/strong><\/p>\n\n\n\n<p>Les d\u00e9tecteurs d&rsquo;\u00e9lectrons secondaires (SE) fournissent un contraste de topographie, permettant d&rsquo;imager les d\u00e9tails de surface, m\u00eame \u00e0 tr\u00e8s faible tension d&rsquo;acc\u00e9l\u00e9ration. Le d\u00e9tecteur d\u2019\u00e9lectrons r\u00e9trodiffus\u00e9s (BSE) \u00e0 diode segment\u00e9, est principalement sensible au contraste de poids atomique, et permet ainsi de reconstruire une image en contraste chimique de l\u2019\u00e9chantillon, \u00e0 partir de 2 keV. <\/p>\n\n\n\n<p>Le d\u00e9tecteur segment\u00e9 BSE est compatible avec le logiciel TopoMaps Advanced et permet une reconstruction 3D bas\u00e9e sur les trois segments ext\u00e9rieurs acquis en configuration angulaire (ABS), rendant possible la restitution de surfaces en 3D, le calcul de distances et de pente, l&rsquo;extraction de contours d&rsquo;objets, etc..<\/p>\n\n\n<div class=\"wp-block-image\">\n<figure class=\"aligncenter size-full is-resized\"><a href=\"http:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/wp-content\/uploads\/2024\/12\/3D.png\"><img decoding=\"async\" loading=\"lazy\" src=\"http:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/wp-content\/uploads\/2024\/12\/3D.png\" alt=\"\" class=\"wp-image-285\" width=\"908\" height=\"596\" srcset=\"https:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/wp-content\/uploads\/2024\/12\/3D.png 908w, https:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/wp-content\/uploads\/2024\/12\/3D-300x197.png 300w, https:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/wp-content\/uploads\/2024\/12\/3D-768x504.png 768w\" sizes=\"(max-width: 767px) 89vw, (max-width: 1000px) 54vw, (max-width: 1071px) 543px, 580px\" \/><\/a><figcaption class=\"wp-element-caption\">Fragment de coquille de Bivalve (reconstruction 3D).<\/figcaption><\/figure><\/div>\n\n\n<hr class=\"wp-block-separator has-css-opacity\"\/>\n\n\n\n<p><strong>Spectroscopie de rayons X \u00e0 dispersion d&rsquo;\u00e9nergie :<\/strong><\/p>\n\n\n\n<p>Le syst\u00e8me de microanalyse QUANTAX (Bruker) est compos\u00e9 de deux d\u00e9tecteurs XFlash de surface active 60 mm2, et permet d&rsquo;atteindre un taux de comptage en sortie  de 600 kcps par d\u00e9tecteur&nbsp;(\u00e0 66 % de temps mort),&nbsp;soit 1,2 Mcps pour les deux d\u00e9tecteurs. Ce syst\u00e8me est donc particuli\u00e8rement adapt\u00e9 \u00e0 la r\u00e9alisation d&rsquo;analyses \u00e9l\u00e9mentaires quantitatives rapides, et notamment de cartographies, avec des seuils de d\u00e9tection &gt; 1000 ppm et une taille de spot de l&rsquo;ordre de 2 \u00b5m \u00e0 15 keV.<\/p>\n\n\n<div class=\"wp-block-image\">\n<figure class=\"aligncenter size-full is-resized\"><a href=\"http:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/wp-content\/uploads\/2024\/12\/carto.png\"><img decoding=\"async\" loading=\"lazy\" src=\"http:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/wp-content\/uploads\/2024\/12\/carto.png\" alt=\"\" class=\"wp-image-286\" width=\"681\" height=\"426\" srcset=\"https:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/wp-content\/uploads\/2024\/12\/carto.png 908w, https:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/wp-content\/uploads\/2024\/12\/carto-300x188.png 300w, https:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/wp-content\/uploads\/2024\/12\/carto-768x480.png 768w\" sizes=\"(max-width: 681px) 100vw, 681px\" \/><\/a><figcaption class=\"wp-element-caption\">Cartographie EDS qualitative (2,5 min)<\/figcaption><\/figure><\/div>\n\n\n<hr class=\"wp-block-separator has-css-opacity\"\/>\n\n\n\n<p><strong>Micro-fluorescence X :<\/strong><\/p>\n\n\n\n<p>Le syst\u00e8me de \u00b5-XRF Quantax est compos\u00e9 d&rsquo;un canon X (50 keV), et utilise les deux d\u00e9tecteurs XFlash, ce qui lui permets de b\u00e9n\u00e9ficier de temps d&rsquo;acquisition rapides. Tr\u00e8s facile \u00e0 mettre en oeuvre (\u00e9chantillons isolants), elle est adapt\u00e9e \u00e0 la quantification pr\u00e9cise y compris des \u00e9l\u00e9ments en trace (seuils de d\u00e9tection ~50ppm pour de nombreux \u00e9l\u00e9ments), mais avec une r\u00e9solution spatiale moindre qu&rsquo;en EDS (de l&rsquo;ordre de 40 \u00b5m). La platine RapideStage permet l&rsquo;acquisition de cartographies en \u00b5-XRF.<strong><br><\/strong><\/p>\n\n\n<div class=\"wp-block-image\">\n<figure class=\"aligncenter size-full is-resized\"><a href=\"http:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/wp-content\/uploads\/2024\/12\/xrf.png\"><img decoding=\"async\" loading=\"lazy\" src=\"http:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/wp-content\/uploads\/2024\/12\/xrf.png\" alt=\"\" class=\"wp-image-287\" width=\"454\" height=\"381\" srcset=\"https:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/wp-content\/uploads\/2024\/12\/xrf.png 908w, https:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/wp-content\/uploads\/2024\/12\/xrf-300x252.png 300w, https:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/wp-content\/uploads\/2024\/12\/xrf-768x645.png 768w\" sizes=\"(max-width: 454px) 100vw, 454px\" \/><\/a><\/figure><\/div>\n\n\n<hr class=\"wp-block-separator has-css-opacity\"\/>\n\n\n<div class=\"wp-block-image\">\n<figure class=\"aligncenter size-full is-resized\"><a href=\"http:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/wp-content\/uploads\/2024\/12\/acav.jpg\"><img decoding=\"async\" loading=\"lazy\" src=\"http:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/wp-content\/uploads\/2024\/12\/acav.jpg\" alt=\"\" class=\"wp-image-288\" width=\"349\" height=\"144\" srcset=\"https:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/wp-content\/uploads\/2024\/12\/acav.jpg 698w, https:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/wp-content\/uploads\/2024\/12\/acav-300x124.jpg 300w\" sizes=\"(max-width: 349px) 100vw, 349px\" \/><\/a><\/figure><\/div>\n\n\n<p class=\"has-text-align-center\"><a href=\"http:\/\/www.dimacav-plus.fr\/spip.php?rubrique2\">Cet instrument \u00e0 \u00e9t\u00e9&nbsp;co-financ\u00e9&nbsp;par la R\u00e9gion Ile-de-France dans le cadre du Domaine d\u2019int\u00e9r\u00eat majeur \u00ab\u00a0ACAV+\u00a0\u00bb<\/a><\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Le microscope \u00e9lectronique \u00e0 balayage environnemental QUATTRO S (FEG-ESEM) est \u00e9quip\u00e9 d&rsquo;un couplage Dual EDS (60 mm2) \/ \u00b5-XRF. Sp\u00e9cificit\u00e9s : Pression variable&nbsp;: En mode vide d\u00e9grad\u00e9 ou ESEM, la pression de gaz dans la chambre permet l&rsquo;observation des \u00e9chantillons sans aucune pr\u00e9paration qu\u2019ils soient isolants, hydrat\u00e9s ou huileux, au prix d&rsquo;un l\u00e9ger compromis sur &hellip; <\/p>\n<p class=\"link-more\"><a href=\"https:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/?page_id=183\" class=\"more-link\">Continuer la lecture<span class=\"screen-reader-text\"> de &laquo;&nbsp;Microscopie Electronique \u00e0 Balayage ESEM&nbsp;&raquo;<\/span><\/a><\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"parent":0,"menu_order":0,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","template":"","meta":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/pages\/183"}],"collection":[{"href":"https:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/pages"}],"about":[{"href":"https:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/types\/page"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcomments&post=183"}],"version-history":[{"count":28,"href":"https:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/pages\/183\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":497,"href":"https:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/pages\/183\/revisions\/497"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/MineralogieGEOPS\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fmedia&parent=183"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}