{"id":181,"date":"2021-01-06T11:03:00","date_gmt":"2021-01-06T10:03:00","guid":{"rendered":"https:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/SEMFIB\/?p=181"},"modified":"2021-10-04T13:30:28","modified_gmt":"2021-10-04T12:30:28","slug":"dual-beam","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/hebergement.universite-paris-saclay.fr\/SEMFIB\/?p=181","title":{"rendered":"Dual BEAM"},"content":{"rendered":"\n

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Un microscope \u00ab\u00a0dual beam\u00a0\u00bb dispose de deux colonnes optique \u00e9lectronique, l’une d\u00e9di\u00e9 aux \u00e9lectrons l’autre aux ions. Lorsque l’intensit\u00e9 du faisceau d’\u00e9lectrons est grande devant celle du faisceau d’ions, en pla\u00e7ant la zone d’int\u00e9r\u00eat de l’\u00e9chantillon \u00e0 intersections des deux faisceaux, on va pouvoir suivre le processus de gravure. Les images obtenues sont particuli\u00e8rement bruit\u00e9es du fait des \u00e9lectrons secondaires produits par le faisceau d’ions lors de la gravure. Attention lors des mesures ou interpr\u00e9tations car cette g\u00e9om\u00e9trie implique que les images obtenue avec le faisceau d’\u00e9lectron correspondent \u00e0 une surface observ\u00e9e avec un angle de 60\u00b0.<\/p>\n<\/div><\/div>\n\n\n\n

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Exemple de visualisation du proc\u00e9d\u00e9 de gravure par faisceau d’ions. Le temps r\u00e9el est de 7 min .<\/em><\/strong><\/p>\n<\/div><\/div>\n\n\n\n