La ligne de lumière harmonique d’ordre élevé dans l’EUV @10Hz est dédiée aux expériences nécessitant des impulsions EUV de durée ultra-courte (<40 fs), de longueur d’onde à comprise entre 17 nm et 40 nm. Elle peut fonctionner indépendamment de la ligne de laser EUV ou de façon synchrone

Schéma de la ligne EUV femtoseconde

Caractéristiques de la source

Spectres rayonnement harmoniques d’ordre élevé (HOE)

Spectres harmoniques typique dans obtenus dans Ne et Ar

Empreinte du faisceau d’HOE généré dans l’Argon

"Empreinte d'un faisceau HOE générées dans l