L’instrumentation a disposition est constitué d’un microscope électronique à balayage de type Zeiss 1540, équipé de la colonne électronique Ultra Haute Résolution Gemini® et d’une colonne ionique filtrée en masse Orsay physics.
Les spécifications sont les suivantes :
Colonne électron Gemini :
- source de type FEG-Schottky
- Tension d’accélération variable en continu de 100 V à 30 kV
- Résolution : 1,1 nm à 20 kV et 2,5 nm à 1 kV
- Courant de sonde : 4 pA à 20 nA
Colonne ions 30keV :
- Orsay physics avec filtre de Wien -> sources Au+, Ga+, Si+
- Faisceaux préréglés : 5n 1n 500p 200p 100p 50p 10p 3p
Détecteurs disponibles:
- Détecteur de type Everhart Thornley pour la détection des électrons secondaires : SE2
- Détecteur 4 quadrants pour la détection des électrons rétrodiffusés haute tension : AsB
- Détecteur annulaire haute performance pour la détection des électrons secondaires basse tension : In-Lens (dans la colonne)
- Caméra IR-CCD, pour la visualisation de l’intérieur de la chambre.
Microanalyseur EDS QUANTAX pour l’analyse élémentaire X avec logiciel Esprit, (Hypermap, cartographie X, profils, pointés), HSQuant analyse avec témoins (analyse X quantitative et/ou semi-quantitative) avec correctif de dérive d’images