La Plateforme « Couches Minces pour l’Optique X » (CeMOX) est opérationnelle depuis 2018 dans les locaux du Laboratoire Charles Fabre à I’Institut d’Optique Graduate School (IOGS, Palaiseau, France). Elle a pour vocation de mettre à la disposition de la communauté scientifique et industrielle les moyens nécessaires pour réaliser et caractériser des optiques revêtues de traitements multicouches adaptés au rayonnement X (0,1 à 10 nm) et Extrême Ultraviolet (10 à 100 nm).
Cette plateforme fait suite à la « Centrale d’Elaboration et de Métrologie d’Optiques X » opérationnelle de 2002 à 2015, sur le site d’Orsay de I’IOGS (Bât 503). Début 2015, un déménagement a été organisé pour transférer les 
équipements dans la nouvelle salle blanche du bâtiment de Palaiseau.
L’opération « Centrale d’Elaboration et de Métrologie d’Optiques X » (CEMOX) a été menée au début des années 2000 dans le cadre du Pôle PRaXO (Pôle d’Optiques Rayons X d’Orsay) initialement fondé par trois laboratoires, le LCFIO, le LIXAM, le LURE, auxquels se sont joints le LOA, SOLEIL (prenant la suite du LURE), le CEA SPAM/DRECAM et de le CEA DAM. L’objectif était de réaliser et de faire fonctionner une centrale d’élaboration et de métrologie des optiques X et UV qui soit mise à la disposition des laboratoires et industriels impliqués dans la recherche et les applications de l’optique dans le domaine des longueurs d’onde allant de 1 nm à 60 nm. En 2008, CEMOX a intégré la fédération LUMAT en tant que Plateforme.