le Plateforme CeMOX comprend des équipements à la pointe des technologies actuelles et optimisés pour fabriquer ou caractériser des optiques multicouches XUV.
Bâti de dépôt de couches minces et de multicouches par pulvérisation cathodique magnétron – Plassys MP800S
Bâti de dépôt de couches minces et de multicouches par pulvérisation cathodique magnétron – Plassys MP1000SL
Réflectomètre X fonctionnant à une longueur d’onde de 0,154 nm (raie Kα du cuivre) – Bruker Discover D8
Profilomètre mécanique VEECO
Ces équipements sont installés au LCF sur 120 m2 de locaux classés « propres » (salle blanche en ISO6 et ISO5 sous flux, et locaux techniques en ISO8) et 64 m2 de laboratoire de caractérisation.
Plus d’informations sur le site web du LCF